部级期刊
《微细加工技术》是由中国电子科技集团公司第48研究所主办、信息产业部主管的一本电子类学术期刊，国际刊号：1003-8213，国内刊号：43-1140/TN。本刊立足电子学科领域，精心打造了“综述、电子束技术、离子束技术、光子束技术、薄膜技术、微机械加工技术、纳米技术”等特色栏目，致力于为电子理论与实践的创新发展构建高水平交流平台。期刊已被知网收录(中)、维普收录(中)、万方收录(中)、EI 工程索引(美)、国家图书馆馆藏、上海图书馆馆藏等国内主要学术数据库收录。凭借其学术质量与影响力，《微细加工技术》已入选“Caj-cd规范获奖期刊、北大图书馆收录期刊”等荣誉榜单。
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作者：李冠男; 黄成军; 罗磊; 郭旻; 于中尧; 于军
关键词：微电铸工艺 微影微电铸微模铸 微机电系统 选择性射流电铸
作者：魏淑华; 刘伟; 李晓娜; 张今朝; 韩立
关键词：电子束曝光 图形发生器 图形文件格式 套刻
作者：孔祥东; 冯圣玉; 卢文娟; 张玉林
关键词：穿透深度 电子束 曝光 MONTE Carlo Grun
作者：李英海; 巴音贺希格; 齐向东
关键词：金刚石刻划刀 衍射光栅 定向
作者：陈铭勇; 郭小伟; 马延琴; 杜惊雷
关键词：无掩模光刻 数字微反射镜 微透镜 阵列
作者：邓习树; 吴运新; 王永华
关键词：干扰观测器 光刻机 掩模台 控制系统
作者：乔治; 许宝建; 周洪波; 金庆辉; 赵建龙
关键词：微喷芯片 PZT驱动器 回流 CFD模拟
作者：刘雄飞; 张德恒; 齐海兵
关键词：F-DLC 接触角 疏水性能
作者：顾盼; 刘景全; 孙洪文; 陈迪
关键词：1 1 2 2 H过氟癸基三氯硅烷 自组装膜 微机电系统 防粘连膜
发文量：924，被引量：1502
发文量：108，被引量：276
发文量：87，被引量：134
发文量：73，被引量：116
发文量：65，被引量：160
发文量：63，被引量：119
发文量：43，被引量：164
发文量：26，被引量：80
发文量：5，被引量：4
发文量：4，被引量：3
发文量：742，被引量：1212
发文量：120，被引量：259
发文量：94，被引量：264
发文量：92，被引量：264
发文量：67，被引量：91
发文量：57，被引量：92
发文量：36，被引量：49
发文量：29，被引量：55
发文量：25，被引量：39
发文量：25，被引量：17
